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EBSD und BKD    

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Schematics of texture measurement

Rückstreu-Kikuchi-Beugung
im Raster-Elektronen-Mikroskop

("EBSD", "BKD", "ACOM/SEM",
"Orientation Microscopy")

Prof. Dr. Robert Schwarzer
Kappstr. 65
D-71083 Herrenberg
Germany

E-mail: post@ebsd.de

Stand  27 Februar 2018

Zusammenfassung

In konventionellen EBSD-Systemen werden die Einzelorientierungen on-line aus Rückstreu-Kikuchi-Diagrammen ermittelt, eventuell unterstützt durch simultane EDS-Analyse. Wir bevorzugen im FastEBSD-System die separate Messung und off-line Auswertung. Dazu werden die Rückstreu-Kikuchi-Diagramme beim Abrastern der Probe nicht als einzelne Bilder, sondern wie ein Videofilm als Diagrammsequenz zunächst auf der Festplatte gespeichert. Die Aufnahmegeschwindigkeit liegt bei mehr als 1100 Pattern/sec (Ni-Probe, <20 nA, 20 kV, 68x68 Pixel) und die anschließende Auswertung bei bis zu 2000 Orientierungen/sec.  

FastEBSD bietet

  • die Aufnahme von Diagramm-Sequenzen und von EDS-Spektren einschließlich der quantitativen Analyse unter jeweils optimalen Bedingungen. Die um eine Größenordnung schlechtere Ortsauflösung von EDS kann durch "Grid Morphing" berücksichtigt werden.

  • die Auswertung der unbearbeiteten Diagrammsequenzen kann jederzeit und reproduzierbar wiederholt werden. Dies ermöglicht die Optimierung von Auswerteparametern sowie Berücksichtigung nicht erwarteter Phasen.

  • Rauschunterdrückung in den Diagrammen durch nichtlineare Filterung im Radonraum

  • Konstruktion von Orientierungs-, Topographie- und Materialkontrast- Gefügebildern durch Auswertung der Rückstreuintensitäten in den Diagrammen anstelle von Intensitätsmessungen mit zusätzlichen Halbleiterdetektoren

  • die Darstellung kristallographischer Richtungen in Form von ternären Millerplot

  • eine Schnittstelle zu MatLab®, so dass der Anwender eigene Programmerweiterungen implementieren kann.

Nach meiner Pensionierung haben wir das Projekt fastebsd eingestellt.

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R. Schwarzer und J. Sukkau: Reproduzierbare EBSD-Messung im REM durch Pattern Streaming und off-line Auswertung.
Vortragstexte der 47. Metallographie-Tagung, Friedrichshafen 2013, 227-232
INVENTUM GmbH, Bonn 2013,   ISBN 978-3-88355-398-6
Download   Vortrag


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