EBSD und BKD
Analytische Grenzen der simultanen EBSD&EDS-Messung

 

 

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    EBSD kann nur Gitter derselben Laue-Gruppe trennen, wenn sie sich in mindestens einer Gitterkonstanten um wenige Prozente oder mehr unterscheiden. Kubische Gitter mit derselben Zentrierung werden grundsätzlich nicht getrennt. Bei Mischkristallen kann die zusätzliche Auswertung der Reflexintensitäten weiterhelfen. Dieses Problem ist in automatisch arbeitenden kommerziellen Programmen aber noch nicht zuverlässig gelöst.

    Andererseits sind Phasen durch das Kristallgitter und nicht durch die aktuelle Elementkonzentration eindeutig definiert. Zudem weist die Elementanalyse mit EDS Ungenauigkeiten von typischerweise 5% für mittelschwere Elemente auf. Eine zuverlässige Phasenanalyse ist also mit EDS allein nicht immer möglich.

    Hier kann die Kombination von EDS mit EBSD einen Schritt weiter führen [1, 2]. Wenn in der Probe mehrere Phasen anzunehmen sind und diese sich in den Elementkonzentrationen unterscheiden, kann die EDS-Analyse als Diskriminierungsfilter einen Hinweis auf die wahrscheinlichste(n) Phase(n) bei der Indizierung des Kikuchi-Diagramms in einem Rasterpunkt geben. Insgesamt kann die Differenzierung und insbesondere die Identifizierung von Phasen im Mikrobereich eine ziemlich komplexe Aufgabenstellung sein, für welche die getrennte Aufnahme der EDS Spektren und der Rückstreu-Kikuchi-Diagramme und anschließende off-line Auswertung angezeigt ist.

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     [1] S. Wright, D.P. Field, D. Dingley: Advanced software capabilities for automated EBSD. In: A. Schwartz, M. Kumar and B.L. Adams (eds.): Electron Backscatter Diffraction in Materials Science, Kluwer Academic / Plenum Publishers, 2000Chapter 13, p. 141-152.
    [2] M.M. Nowell, S.I. Wright: Phase differentiation via combined EBSD and XEDS. Journal of Microscopy 213 (2004) 296-305

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